目錄
第1章 半導體製造系統調度
1.1 半導體製造流程
1.2 半導體製造系統調度
1.2.1 調度特點
1.2.2 調度類型
1.2.3 調度方法
1.2.4 評價指標
1.3 半導體製造系統調度發展趨勢
1.3.1 複雜製造資料預處理
1.3.2 基於資料的調度建模
1.3.3 基於資料的調度優化
1.3.4 存在問題
1.4 本章小結
參考文獻
第2章 資料驅動的半導體製造系統調度框架
2.1 資料驅動的半導體製造系統調度框架設計
2.2 基於資料的複雜製造系統調度體系結構
2.2.1 DSACMS概述
2.2.2 DSACMS的形式化描述
2.2.3 DSACMS的對複雜製造系統調度建模與優化的支持
2.3.4 DSACMS中的關鍵技術
2.3 應用實例
2.3.1 FabSys概述
2.3.2 FabSys的面向對象仿真模型
2.3.3 FabSys的資料驅動預測模型
2.4 本章小結
參考文獻
第3章 半導體製造系統資料預處理
3.1 概述
3.2 資料規範化
3.2.1 資料規範化規則
3.2.2 變數異常值校正
3.3 資料缺失值填補
3.3.1 資料缺失值填補方法
3.3.2 Memetic演算法和Memetic計算
3.3.3 基於高斯變異和深度優先搜尋的屬性加權 K近鄰缺失值填補方法(GS-MPSO-KNN)
3.3.4 數值驗證
3.4 基於資料聚類分析的異常值探測
3.4.1 基於資料聚類的異常值探測
3.4.2 K 均值聚類
3.4.3 基於GS-MPSO和K均值聚類的資料聚類演算法(GS-MPSO-KMEANS)
3.4.4 數值驗證
3.5 基於變數聚類的冗餘變數檢測
3.5.1 主成分分析
3.5.2 基於K均值聚類和PCA的變數聚類
3.5.3 基 於MCLPSO 的 變 數 聚 類 演 算 法(MCLPSO-KMEANSVAR)
3.5.4 數值驗證
3.6 本章小結
參考文獻
第4章 半導體生產線性能指標相關性分析
4.1 半導體製造系統性能指標
4.2 半導體生產線性能指標的統計分析
4.2.1 短期性能指標
4.2.2 長期性能指標
4.3 基於相關係數法的性能指標相關性分析
4.3.1 相關性分析框圖
4.3.2 考慮工況的性能指標相關性分析
4.3.3 考慮派工規則的性能指標相關性分析
4.3.4 綜合考慮工況以及派工規則的性能指標相關性分析
4.3.5 長期性能指標和短期性能指標相關性分析
4.3.6 基於 MIMAC生產線的性能指標相關性分析
4.4 基於皮爾遜係數的性能指標相關性分析
4.4.1 日在製品數-日移動步數
4.4.2 日排隊隊長-日移動步數
4.4.3 日設備利用率-日移動步數
4.5 半導體製造系統性能指標資料集
4.5.1 加工週期和對應短期性能指標的訓練集
4.5.2 準時交貨率和對應短期性能指標的訓練集
4.5.3 等待時間和對應短期性能指標的訓練集
4.6 本章小結
參考文獻
第5章 資料驅動的半導體製造系統投料控制
5.1 半導體製造系統常用投料控制策略
5.1.1 常用投料控制
5.1.2 改進的投料控制策略
5.1.3 現階段投料控制策略的侷限性
5.2 基於極限學習機的投料控制策略
5.2.1 基於極限學習機確定投料時刻的投料控制策略
5.2.2 基於極限學習機確定投料順序的投料控制策略
5.3 基於屬性選擇的投料控制策略優化
5.3.1 投料相關屬性集
5.3.2 屬性選擇
5.3.3 經過屬性選擇後的仿真
5.4 本章小結
參考文獻
第6章 資料驅動的半導體製造系統動態調度
6.1 動態派工規則
6.1.1 參數與變數定義
6.1.2 問題假設
6.1.3 決策流程
6.1.4 仿真驗證
6.2 基於資料探勘的演算法參數優化
6.2.1 總體設計
6.2.2 演算法設計
6.2.3 優化流程
6.2.4 仿真驗證
6.3 本章小結
參考文獻
第7章 性能驅動的半導體製造系統動態調度
7.1 性能指標預測方法
7.1.1 單瓶頸半導體生產模型長期性能指標預測方法
7.1.2 多瓶頸半導體生產模型長期性能指標預測方法
7.2 基於負載均衡的半導體生產線動態調度
7.2.1 總體設計
7.2.2 負載均衡技術
7.2.3 參數選取
7.2.4 負載均衡預測模型
7.2.5 基於負載均衡的動態調度演算法
7.2.6 仿真驗證
7.3 性能指標驅動的半導體生產線動態調度
7.3.1 性能指標驅動的調度模型結構
7.3.2 動態派工演算法
7.3.3 預測模型搭建
7.3.4 仿真驗證
7.4 本章小結
參考文獻
第8章 大數據環境下的半導體製造系統調度發展趨勢
8.1 工業4.0
8.2 工業大數據
8.3 大數據環境下半導體製造調度發展趨勢
8.3.1 基於資料的Petri網
8.3.2 動態仿真
8.3.3 預測模型
8.4 應用實例:複雜製造系統大數據驅動預測模型
8.5 本章小結
參考文獻